LiCl/SiO2-Al2O3薄膜的纳米结构和湿敏特性

• 作者: 姚熹 张良莹 翟继卫 赵鹏
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氯化锂 薄膜 湿敏
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 995-999
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.1999.06.027

摘要

通过溶胶-凝胶工艺制得具有良好湿敏特性的LiCl/SiO2-Al2O3薄膜材料,利用XRD和AFM对这类薄膜进行了结构表征. 结果表明,具有纳米分相结构的薄膜在全湿范围内阻抗值的变化>3个数量级,阻抗的对数值与相对湿度的关系具有较好的线性度,吸湿响应<30s,脱湿响应<60s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	123	956	16.0	21.0
3	张良莹	西安交通大学电子材料研究所	59	646	15.0	22.0
9	赵鹏	西安交通大学电子材料研究所	18	155	7.0	12.0
10	翟继卫	同济大学功能材料研究所	35	241	9.0	13.0