硅基TFT有源矩阵液晶显示技术

• 作者: 刘传珍 刘洪武 吴渊 朱永福 李牧菊 杨柏梁 王刚 袁剑峰 黄锡珉
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 薄膜晶体管 有源矩阵液晶显示
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 专论
• 页码范围: 137-144
• 分类号: TN14
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.1999.02.010

摘要

介绍了薄膜晶体管(TFT),特别是p-Si(多晶硅)TFT矩阵寻址液晶显示器的工作原理、结构、特点、制作工艺和电学特性, 对器件参数的选择进行了分析.