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浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素
浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素
原文服务方：
电力电容器与无功补偿
摘要：
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文献信息
| 篇名 | 浅析影响薄膜厚薄均匀性的因素 | ||
| 来源期刊 | 电力电容器与无功补偿 | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 1999,（4） | 所属期刊栏目 | 制造技术 |
| 研究方向 | 页码范围 | 17-18 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TQ32 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | 10.3969/j.issn.1674-1757.1999.04.004 | ||
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期刊影响力
电力电容器与无功补偿
主办单位：
西安电力电容器研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1674-1757
CN：
61-1468/TM
开本：
大16开
出版地：
邮发代号：
创刊时间：
1980-01-01
语种：
chi
出版文献量（篇）
2482
总下载数（次）
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12122
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