离子束辅助沉积

李望

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离子束辅助沉积

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李望

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文献信息

篇名	离子束辅助沉积
来源期刊	电镀与精饰	学科	工学
关键词
年，卷（期）	1999,（2）	所属期刊栏目	技术交流之窗
研究方向		页码范围	31
页数		分类号	TQ15
字数		语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1001-3849.1999.02.021

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