燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究

• 作者: 姚英学 张志军 袁哲俊 黄树涛
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 燃焰法 金刚石薄膜 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 74-78
• 页数: 5页
• 分类号: O782.4
• 字数: 2655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.1999.01.015

摘要

采用燃焰法在大气环境下以30μm/h的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜.实验结果表明,较高的V(O2)/V(C2H2)和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件;提高反应气体中氧气浓度,可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁哲俊	哈尔滨工业大学机械工程系	72	1481	23.0	36.0
2	张志军	沈阳工业学院机械工程系	9	101	6.0	9.0
3	姚英学	哈尔滨工业大学机械工程系	136	2556	28.0	41.0
4	黄树涛	沈阳工业学院机械工程系	9	67	5.0	8.0