用sol-gel法在不锈钢基片上制备TiO2薄膜

• 作者: 刘世军 王培英
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 二氧化钛薄膜 溶胶-凝胶法 不锈钢基片 电学特性
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 5-6
• 页数: 2页
• 分类号: TM28
• 字数: 2343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.1999.06.003

摘要

介绍利用钛酸丁酯为前驱液,用sol-gel法在不锈钢基片上制备TiO2薄膜.研究分析了冰醋酸、乙酰丙酮等添加物对溶胶性能的影响,对制备在不锈钢基片上的TiO2薄膜进行XRD分析,并检测薄膜的阻-温特性、V-I特性、绝缘强度等电学特性.实验显示添加一定比例的H2O、冰醋酸、乙酰丙酮,可以得到长时间不胶凝、性能稳定的溶胶,通过适当工艺,能在金属基片上制备出致密、不开裂、电阻率为105～106Ω.cm的TiO2薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘世军		2	30	2.0	2.0
2	王培英		2	30	2.0	2.0