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刻蚀
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
| 篇名 | 用低压,射频,感应耦合等离子体合成金刚石 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 化学 |
| 关键词 | 金刚石合成 低压 射频 感应耦合 等离子体 | ||
| 年，卷（期） | 1999,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 74-78 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | O613.71 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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1999(0)
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石合成
低压
射频
感应耦合
等离子体
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外核聚变
主办单位：
四川省核学会
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
728
总下载数（次）
3
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