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CZ法生长GeSi合金引晶过程中的偏析
CZ法生长GeSi合金引晶过程中的偏析
作者:
苏宇欢
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CZ法生长
硫化锗
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CZ法生长GeSi合金引晶过程中的偏析
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工学
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CZ法生长
硫化锗
合金
引晶过程
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dzclkb_1999,(3)
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合金
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天津电子材料研究所
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