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在超微金刚石涂层上化学气相沉积金刚石薄膜的研究
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摘要：
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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
微晶/纳米金刚石复合涂层的沉积与表征
纳米金刚石复合涂层
硬质合金
偏压增强热丝CVD
表面质量
热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究
热丝化学气相沉积
金刚石
温度场
薄膜生长
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
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主办单位：
中国科学院国家自然科学基金委员会
出版周期：
旬刊
ISSN：
0023-074X
CN：
11-1784/N
开本：
大16开
出版地：
北京东城区东黄城根北街16号
邮发代号：
80-213
创刊时间：
1950
语种：
chi
出版文献量（篇）
11887
总下载数（次）
74
总被引数（次）
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