热等离子体反应器中不同几何形状基体上的金刚石沉积

• 作者: Bor.,CFM 晨亮
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 物理学
• 关键词: 热等离子体 金刚石沉积 液体先质 基体 薄膜
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 64-71
• 页数: 8页
• 分类号: O484.1

摘要

研究了大气压强ｄｃ热等离子体射流反应器中工艺参数对金刚石膜没积的影响，估计了两种不同的先质注入系统，逆流注入和侧面注入，发现使用乙醇时本质流率大大影响晶体尺寸和晶体生长平面的取向，而且，发现尖边缘的晶体尺寸比平表面的晶体尺寸大４倍，也研究了基体几何形状对沉积的金刚石的形态和面积的影响，这项研究结果表明，ｄｃ热等离子体射流提供高的金刚石沉积率，例如在金属丝和钻头上就是那样，尽管晶体尺寸和膜厚度有显著