角度测量型原子间力显微镜

• 作者: 刘庆纲 叶声华 岗彻 清野慧
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 角度测量型 位移测量型 原子间力显微镜
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 161-165
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.1999.03.001

摘要

本文作者采用光学式角度传感器,制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜(AFM),它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法,克服了以往测量方法对被测物体的尺寸、重量及扫描速度等的限制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘庆纲		45	189	8.0	10.0
2	叶声华		292	6282	40.0	63.0
3	清野慧		1	3	1.0	1.0
4	岗彻		1	3	1.0	1.0