固态介质薄膜的电击穿场强

• 作者: 曲喜新
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 固态介质薄膜 电击穿场强 弱点类型
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 科技动态
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TM215.014+4
• 字数: 4552字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.1999.06.013

摘要

对于微电子和光电子元器件及其集成电路来讲,固态介质薄膜是一类重要的基础材料.它们的电击穿场强是一个特殊的特性参数.本文从理论上论述了这类薄膜的电击穿场强,并概述了现在所用的测试方法和多位研究者得出的测试结果.此外,文中还分类提出了这类薄膜内的弱点类型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲喜新		5	39	3.0	5.0