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保护膜制备参数对其性能影响的实验研究
保护膜制备参数对其性能影响的实验研究
作者:
任红霞
胡江峰
郑德修
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摘要:
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文献信息
篇名
保护膜制备参数对其性能影响的实验研究
来源期刊
真空电子技术
学科
关键词
年,卷(期)
1999,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
44
页数
1页
分类号
字数
4895字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1002-8935.1999.02.011
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空电子技术
主办单位:
北京真空电子技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-8935
CN:
11-2485/TN
开本:
大16开
出版地:
北京749信箱7分箱
邮发代号:
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
2372
总下载数(次)
7
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