ITO导电玻璃生产线抽气系统设计分析

• 作者: 郑光文
• 来源期刊: 机械
• 学科: 工学
• 关键词: ITO导电膜 溅射 镀膜室
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 设计·计算
• 页码范围: 封三
• 分类号: TP3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0316.1999.02.007

摘要

本文根据镀膜工艺要求系统,分析了真空抽气系统的配置及泵的选择,阐述了该系统的先进性、合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑光文		1	0	0.0	0.0