热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量

• 作者: 吴广明 周斌 张勤远 徐平 沈军 王珏 赖珍荃 邓忠生
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: Al平面薄膜靶 自支撑 热蒸发 微结构
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 第六届全国核靶技术交流会论文选
• 页码范围: 294-296
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.1999.04.002

摘要

以热蒸发工艺制备微结构可控的自支撑Al平面薄膜靶.该靶用于惯性约束聚变(ICF)精密化分解实验,研究驱动激光光束不均匀性对瑞利-泰勒流体力学不稳定性的影响.以卢瑟福背散射(RBS)、俄歇电子能谱(AES)、扫描电子显微镜(SEM)和α-step 500台阶仪测量Al薄膜靶的靶参数.Al膜厚度为微米量级,表面稳定的氧化层厚度约为7 nm,膜密度为2.312 g*cm-3,颗粒度0.1 μm,表面粗糙度平均值为5.3 nm.测试结果表明:热蒸发工艺制备出的自支撑Al平面薄膜靶的厚度、表面平整度及均匀性基本符合ICF分解实验所提出的技术要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学波耳固体物理研究所	140	1582	22.0	31.0
2	赖珍荃	同济大学波耳固体物理研究所	6	49	3.0	6.0
3	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
4	王珏	同济大学波耳固体物理研究所	79	1255	22.0	32.0
5	吴广明	同济大学波耳固体物理研究所	118	1607	22.0	32.0
6	邓忠生	同济大学波耳固体物理研究所	18	442	12.0	18.0
7	张勤远	同济大学波耳固体物理研究所	9	90	5.0	9.0
8	徐平	同济大学波耳固体物理研究所	6	14	2.0	3.0