电子回旋共振离子源的研制及应用

• 作者: 刘仲阳 孙官清 张大忠 陈剑宣
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: ECR离子源 微波输入窗 磁场 C:N团簇纤维
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 页码范围: 343-347
• 页数: 5页
• 分类号: O57
• 字数: 3027字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.1999.06.005

摘要

描述了一台电子回旋共振离子源的设计、结构及特性.为了获得离子源的长寿命、较高的等离子密度以及高效的传输微波功率,利用合适的三层微波输入窗(石英、Al2O3陶瓷和BN)是很有效的.采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件(87.5mT)和约束等离子的轴向磁场.利用本源离解CH4-NH3制备成三种C:N膜,经真空退火后,其中两种C:N膜裂解成不同粗细的团簇纤维.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘仲阳	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室	16	109	7.0	10.0
2	张大忠	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室	4	29	3.0	4.0
3	孙官清	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室	12	77	5.0	8.0
4	陈剑宣	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室	3	23	2.0	3.0