直线度误差组合分离方法及其误差分析

• 作者: 李圣怡 王宪平
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度 误差分离方法 组合方法 误差分析
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 124-130
• 页数: 7页
• 分类号: TB92
• 字数: 3521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.04.022

摘要

在分析了精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上,介绍了为满足这些要求而发展的时域逐次两点法、三点法、精密逐次三点法、广义两点法以及频域方法,从数据融合和信息提取角度解释了方法的发展趋势,并提出了n阶误差分离模型.同时结合对这些方法的误差分析,提出了一种三次数据融合的时域直线度误差组合分离方法.这种方法以两点法为主,结合了广义两点法和时域三点法,使用三点法分离出的摆角补偿两点法的分离结果,使用广义两点法提供各组两点法分离结果之间的相对位置关系.提高了测量精度,对传感器的初始对准没有严格要求,避免了传感器初始对准误差的非线性累积和两点法中的摆角误差,可以满足超精密直线度测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科技大学机械电子工程与仪器系	186	3101	27.0	44.0
2	王宪平	国防科技大学机械电子工程与仪器系	8	97	5.0	8.0