微结构表面形貌的测量

• 作者: 周明宝 林大键 郭履容 郭永康
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 微结构 表面形貌 测量
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 7-13
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 4726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.03.002

摘要

总结了现有各种微结构表面形貌测量方法,概述了这些方法的原理、特性及发展现状,并对各种方法的优越性、存在问题以及应用范围进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林大键	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	7	164	5.0	7.0
2	周明宝	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	7	159	5.0	7.0
3	郭履容	四川联合大学物理系	3	118	2.0	3.0
4	郭永康	四川联合大学物理系	3	118	2.0	3.0