扫描隧道显微镜轮廓测量数学模型的研究

• 作者: 刘安伟 杨勇 胡小唐 齐鹏
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描隧道显微镜 轮廓测量 卷积 傅里叶变换
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TB9
• 字数: 2304字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.1999.01.005

摘要

在量子隧道效应的基础上,建立了适用于平坦表面的扫描隧道显微镜微观轮廓测量的数学模型,并采用傅里叶变换方法对该模型进行了仿真验证.仿真结果表明,该模型较好地反映了扫描隧道显微镜对样品表面轮廓的测量过程.最后,文中还对该模型的适用范围进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精仪学院	205	1913	21.0	33.0
2	杨勇	天津大学精仪学院	32	237	8.0	13.0
3	刘安伟	天津大学精仪学院	11	101	6.0	10.0
4	齐鹏	天津大学精仪学院	3	5	1.0	2.0