微系统CAD的研究现状及展望

• 作者: 肖沙里 钟先信 陈愚 黎凯
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微系统 CAD 模型层次
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: CAD篇
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.72
• 字数: 3361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.06.001

摘要

在微系统的研究和设计中,计算机辅助设计软件工具的开发是一个非常重要的研究领域.讨论了微系统CAD的系统模型层次,介绍了一些重要的CAD项目的研究现状,并指出了微系统专用CAD研究中存在的两个关键问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟先信	重庆大学光电技术及系统开放实验室微系统研究中心	90	1043	16.0	27.0
2	肖沙里	重庆大学光电技术及系统开放实验室微系统研究中心	123	988	14.0	24.0
3	陈愚	重庆大学光电技术及系统开放实验室微系统研究中心	3	26	3.0	3.0
4	黎凯	重庆大学光电技术及系统开放实验室微系统研究中心	2	17	2.0	2.0