自动PLA微力学结构动态参数测试系统

• 作者: 崔大付 张洮 李自高 陈德勇
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微力学结构 锁相放大 真空度自动控制 动态参数
• 年，卷（期）: 1999,（11）
• 所属期刊栏目: 专题报告--动态测试与校准技术
• 页码范围: 4-5
• 分类号: TP2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.1999.11.002

摘要

基于锁相放大技术(PLA)和真空度自动控制技术设计了一种有很大实践意义的微力学结构动态参数测试系统.作为例子,给出了这套系统测得的Si谐振梁的非线性强迫振动(硬弹簧特性)在谐振点附近的从低频向高频扫描的幅频和相频曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	77	974	17.0	27.0
2	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	张洮	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	李自高	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	1	0	0.0	0.0