温梯法Al2O3晶体位错形貌分析

• 作者: 周国清 周永宗 干福熹 徐军 徐科 朱人元 王洲光 田玉莲 蒋建华 邓佩珍
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Al2O3晶体 位错 腐蚀 衍射衬度 温梯法
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 249-252
• 页数: 4页
• 分类号: O772
• 字数: 1789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.1999.03.008

摘要

用温度梯度法(Temperature Gradient Technique,简称温梯法或TGT法),定向籽晶[0001]方向,生长出φ110mm×80mm Al2O3单晶,晶体完整、透明.采用硼酸钠玻璃液作为Al2O3晶体的化学抛光和化学腐蚀剂,观察了晶体不同部位处(0001)、(112-0)晶片的化学腐蚀形貌相,(0001)切片的位错腐蚀坑呈三角形,位错密度为2×103～3×103/cm2;(112-0)切片位错腐蚀坑呈菱形,位错密度为7×103～8×103/cm2;而且等径生长部位的完整性比放肩处高.利用同步辐射X射线白光衍射实验分析了(0001)晶片的(2-021),(11-01)和(112-0)衍射面内的位错组态.确定了两组位错线的Burgers矢量,温梯法生长的Al2O3晶体中的位错主要是刃型位错.