液态金属离子源聚焦离子束系统在微米/纳米技术中的应用

• 作者: 应根裕 张克潜 汪健如 董桂芳
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束 液态金属离子源 微细加工 半导体集成 光电集 微米/纳米技术吵
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 110-114
• 分类号: TN91
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.1999.06.024

摘要

随着微米/纳米科学技术的发展,微细加工微区分析所用的主要技术之一--聚焦离子束技术引人注目.本文简述了具有液态金属离子源的聚焦离子束技术的主要功能,着重报道了近年来该技术在下述领域中的应用:(1)半导体大规模集成电路器件的集成、失误诊断和修复.(2)光电子集成技术中量子阱激光器和光纤相位掩模的制备及量子效应研究.(3)超导器件和真空微电子器件的研制.(4)二次离子质谱分析和透射电子显微镜样品的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	应根裕	清华大学电子工程系	23	61	5.0	7.0
2	汪健如	清华大学电子工程系	13	18	2.0	4.0
3	董桂芳	清华大学电子工程系	13	142	7.0	11.0
4	张克潜	清华大学电子工程系	4	39	3.0	4.0