提高半导体器件成品率的有效对策

• 作者: 谢永桂
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件 成品率 优化设计
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 检测与可靠性
• 页码范围: 47-54
• 页数: 8页
• 分类号: TN3
• 字数: 6358字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.1999.02.014

摘要

从技术、管理等方面入手,讨论了影响器件成品率的诸因素及提高成品率的对策.介绍了一种有效、相容的吸杂工艺;从工艺优化设计角度讨论了提高成品率的各种途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢永桂	航天总公司西安微电子技术研究所	1	0	0.0	0.0