薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究

• 作者: 付永启 张新 李吉学 赵晶丽 郑宣明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 照相制版 薄膜沉积 多级衍射光学元件
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 光衍射、仪器与器件
• 页码范围: 67-72
• 页数: 6页
• 分类号: O484.41
• 字数: 466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.05.011

摘要

应用光刻和薄膜沉积技术,制作了多级衍射光学元件.对制作误差和影响误差的因素进行了分析.给出了改善对准误差的标校方法,并在实际的多级衍射光学元件制作过程中得到验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张新	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	123	1155	20.0	29.0
2	赵晶丽	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	16	189	7.0	13.0
3	郑宣明	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	3	39	2.0	3.0
4	付永启	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	3	11	1.0	3.0
5	李吉学	中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	1	0	0.0	0.0