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类金刚石薄膜的性质、应用及制备
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摘要：
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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
掺钨类金刚石薄膜制备工艺参数的正交分析研究
正交分析
类金刚石
薄膜
硬度
离子辅助轰击能量对类金刚石薄膜性能的影响
类金刚石薄膜
IBAD
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物理学报
主办单位：
中国物理学会
中国科学院物理研究所
出版周期：
半月刊
ISSN：
1000-3290
CN：
11-1958/O4
开本：
大16开
出版地：
北京603信箱
邮发代号：
2-425
创刊时间：
1933
语种：
chi
出版文献量（篇）
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