软X射线多层膜技术

• 作者: 吕俊霞 曹健林 王占山 马月英 高宏刚
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 软X射线 多层膜
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 第六届全国核靶技术交流会论文选
• 页码范围: 337-339
• 页数: 3页
• 分类号: O434.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.1999.04.013

摘要

软X射线多层膜技术是目前工程光学和应用光学中的一个热点.用多层膜可以组成类似于可见光波段的各种软X射线光学仪器,如望远镜、显微镜、投影光刻系统和光谱仪器等.文章简要介绍长春光学精密机械研究所近年来软X射线多层膜技术的研究概况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹健林	中国科学院长春光学精密机械研究所	37	328	10.0	17.0
2	王占山	中国科学院长春光学精密机械研究所	9	63	5.0	7.0
3	吕俊霞	中国科学院长春光学精密机械研究所	3	8	1.0	2.0
4	马月英	中国科学院长春光学精密机械研究所	13	75	5.0	8.0
5	高宏刚	中国科学院长春光学精密机械研究所	4	172	4.0	4.0