稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响

• 作者: 张伟 赵业权 高军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 燃烧焰法 金刚石薄膜 稀释气体
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 364-367
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1950字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.1999.04.011

摘要

本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar对沉积质量的影响.发现在成膜过程中适当量的Ar起到增大内焰体积、降低沉积速率和提高晶型质量的作用.文中分析了其原因,并实现了利用Ar来控制高质量金刚石薄膜的生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵业权	哈尔滨工业大学航天学院	45	164	6.0	11.0
2	张伟	哈尔滨工业大学航天学院	281	3078	27.0	38.0