组合离子束技术在硅基材料芯片中的应用

• 作者: 叶伯年 曹建清 朱德彰 李民乾 潘浩昌 胡钧 陈昌明 黄建鸣
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 组合技术 离子束技术 材料芯片
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 页码范围: 65-68
• 分类号: O57
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.1999.02.001

摘要

将组合技术和离子束技术结合起来,用于硅基发光材料的研究用组合离子束技术在硅基材料上制备了64个直径为2mm的单元--材料芯片,并对硅基材料芯片各单元进行了卢瑟辐背散射质子弹性散射和扫描阴极射线发光特性分析