用于纳米测量的混合型外差干涉信号处理方法

• 作者: 戴高良 殷纯永
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量学 外差干涉仪 相位测量
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 测量
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 分类号: TN786.1
• 字数: 2460字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.1999.01.005

摘要

通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数,可得到存在一定冗余度的一组测量结果,经过一定的逻辑混合;可实观测量分辨率优于0.1nm,测量范围不受λ/2周期限制,从而克服了以往单一采用相位测量法测量范围限于一个周期和锁相倍频计数法分辨率不易提高的难题.给出了在实际纳米测量干涉仪采用这种外差信号处理方法的测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷纯永	清华大学精密仪器与机械学系	43	662	14.0	24.0
2	戴高良	清华大学精密仪器与机械学系	3	42	3.0	3.0