Ti和W合金上浸渍沉积钯以选择性引发无电沉积制作晶片

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篇名	Ti和W合金上浸渍沉积钯以选择性引发无电沉积制作晶片
来源期刊	电镀与涂饰	学科	化学
关键词
年，卷（期）	1999,（3）	所属期刊栏目	中国专利信息
研究方向		页码范围	65
页数		分类号	O6
字数		语种	中文
DOI