光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展

• 作者: 刘君华 吴浩扬 朱长纯 李炳乾
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微机械 谐振传感器 光激励 光拾取
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 动态综述
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2958字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.1999.01.002

摘要

从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器,评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展,并就该领域未来的发展作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘君华		224	3216	28.0	45.0
2	朱长纯		215	2372	22.0	41.0
3	吴浩扬		13	563	9.0	13.0
4	李炳乾		7	92	3.0	7.0