阴极真空弧沉积中MEVVA源两种工作状态的比较

• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 真空弧沉积 阳极接地 阴极接地 MEVVA等离子体源
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 366-369
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文

摘要

介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对孤源放电稳定性的影响不如阴极接地时明显.因此可以加较高的聚焦磁场,从而获得电流较大和较稳定的沉积离子束.