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低温等离子复合技术淀积Al2O3膜的性能及应用
低温等离子复合技术淀积Al2O3膜的性能及应用
作者:
林锡刚
缪竞威
陈叔鑫
原文服务方:
材料工程
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篇名
低温等离子复合技术淀积Al2O3膜的性能及应用
来源期刊
材料工程
学科
关键词
年,卷(期)
1999,(10)
所属期刊栏目
▲研究与应用▲
研究方向
页码范围
11-13
页数
3页
分类号
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1001-4381.1999.10.003
五维指标
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料工程
主办单位:
中国航发北京航空材料研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-4381
CN:
11-1800/TB
开本:
大16开
出版地:
北京81信箱-44分箱
邮发代号:
创刊时间:
1956-05-01
语种:
中文
出版文献量(篇)
5589
总下载数(次)
0
总被引数(次)
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