硫化热处理合成FeS2(pyrite)薄膜的研究

• 作者: 刘茂森 孟亮 徐文雷 杨友志
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: FeS2 薄膜 硫化 化学成分 微观组织
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 组织与性能
• 页码范围: 9-11
• 分类号: TG1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.1999.03.004

摘要

研究了硫化热处理工艺参数对磁控溅射Fe膜转变为FeS2膜的作用.结果表明,在80kPa硫化压力条件下,400℃等温1h或200℃等温10h便可使Fe膜开始产生硫化反应;400℃、60kPa等温20h的热处理条件可使硫化产物最接近FeS2计量成分;硫化温度升高可使薄膜中的FeS2晶粒尺寸增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟亮	浙江大学材料系	74	680	15.0	21.0
2	刘茂森	浙江大学材料系	11	235	10.0	11.0
3	杨友志	浙江大学材料系	9	229	5.0	9.0
4	徐文雷	浙江大学材料系	2	25	2.0	2.0