磁控溅射MOS_2薄膜的结构和微观摩擦磨损特性

• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 二硫化钼薄膜 结构 微观摩擦学 AFM/FFM
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射法制取了MoS_2薄膜,通过X光电子能谱、X射线衍射和AFM/FFM方法对薄膜的表面形貌、成分、化学价态、结构和微观摩擦磨损性能进行了研究.实验结果表明:MoS_2薄膜表面呈蠕虫状,微观结构为(100)面平行于基面的非晶态,表面膜由MoS_2和少量的MoO_3组成.在微观摩擦磨损过程中,MoS_2薄膜的摩擦系数较大,且而磨性能高;微摩擦过程中没有磨合阶段,不存在摩擦机理的转变.