BGA引脚共面度的变光源阴影莫尔测量技术

• 作者: 宋元鹤 李根乾 谭玉山 赵宏
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 阴影莫尔轮廓测量 变光源 BGA引脚共面度
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 198-200
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 1476字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.1999.03.015

摘要

相移莫尔轮廓测量法是一种光学全场非接触三维测量方法,由于存在机械运动,限制了测量速度、使用寿命及测量的可靠性.采用变光源阴影莫尔测量技术,实现了无机械运动的快速测量.该测量方法可以满足 BGA(球脚阵列)封装引脚尺寸的实时在线检测的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏	西安交通大学激光与红外研究所	71	687	16.0	23.0
2	谭玉山	西安交通大学激光与红外研究所	77	1184	18.0	31.0
3	宋元鹤	西安交通大学激光与红外研究所	7	53	4.0	7.0
4	李根乾	西安交通大学激光与红外研究所	7	37	3.0	6.0