MOD制备的PZT薄膜的相结构发展和成分分析

• 作者: 包定华 吴小清 姚熹 张良莹
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 锆钛酸铅薄膜 结构相变 成分分析
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 119-126
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.1999.01.020

摘要

采用MOD工艺制备了PZT薄膜, 利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程. 制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜, 其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相; 与之相比, Pt箔上无支持的PZT薄膜, 其TEM分析表明PZT焦绿石相完全转变为钙钛矿相的温度更高, 且与薄膜的厚度有关. XPS研究表明, 薄膜表面含有化学吸附氧和污染碳, 无其它杂质存在. 表面富含少量Pb, 其Zr/Ti比与化学计量比一致, 但晶格中缺氧.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张良莹	西安交通大学电子材料与器件研究所	59	646	15.0	22.0
2	姚熹	西安交通大学电子材料与器件研究所	172	1611	18.0	30.0
3	吴小清	西安交通大学电子材料与器件研究所	18	216	8.0	14.0
4	包定华	西安交通大学电子材料与器件研究所	4	50	4.0	4.0