硅基光波导及光波导开关的研究进展

• 作者: 余金中 刘忠立 王启明 魏红振
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 光电集成 光开关 硅基光波导
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 动态综述
• 页码范围: 369-376
• 页数: 8页
• 分类号: TN252|TN256
• 字数: 7019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.1999.06.001

摘要

SiO2光波导、重掺杂光波导、SOI光波导、合金光波导及聚合物光波导等低损耗硅基光波导的研究已取得了很大的进展,随着这些波导的硅基光开关不断研制出来,各种光开关结构也不断提出来了.为了解决硅的线性电光系数为零的问题,采用了多种方法,以获得强的线性电光效应,实现高速光开关.文章回顾了近十年来硅基光波导及光开关的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘忠立	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	77	412	12.0	14.0
2	王启明	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	118	735	14.0	20.0
3	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	110	703	13.0	21.0
4	魏红振	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室	8	83	5.0	8.0