有限元方法在微结构气敏传感器设计中的应用

• 作者: 于中尧 朱敏慧 李建平 高晓光
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构气敏传感器 有限元方法 结构设计
• 年，卷（期）: 1999,（10）
• 所属期刊栏目: 专题报告--传感器技术及其应用
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 1695字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.1999.10.003

摘要

微结构气敏传感器是利用微电子、微机械和薄膜等技术制作的新一代气敏元件.本文报道有限元方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用.结果表明,有限元方法可用于模拟膜片上的温度分布和器件功耗,对器件结构设计有很好的指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	朱敏慧	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	59	820	16.0	27.0
3	于中尧	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	7	87	5.0	7.0
4	高晓光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	52	248	9.0	13.0