YBCO沟槽型台阶结和rf SQUID的制备及性能研究

• 作者: 刘乐园 张凡 戴远东 王世光 王守证 甘子钊 聂瑞娟 胡晓东 谢飞翔 马平
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 5-12
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.1999.01.002

摘要

本工作在沟槽型台阶衬底上用直流磁控溅射法外延生长YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜后,制备出台阶结和射频超导量子干涉器(rf SQUID).液氮中器件的磁通灵敏度和磁场灵敏度分别达到2.0×10-4Φ0/和294fT/.涂有真空导热硅脂作保护层的器件, 至今寿命已达10个月, 经历了30次以上(个别器件达50次)测试过程中从液氮到室温的冷热循环, 性能没有明显的变化, 表现出很好的稳定性.通过研究, 解决了制备rf SQUID器件工艺过程中存在的一些问题, 提高了制备器件的可重复性, 得到高性能器件的成品率达到30%～50%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马平	北京大学物理学系	16	87	4.0	9.0
2	戴远东	北京大学物理学系	17	90	4.0	9.0
3	张凡	北京大学物理学系	41	154	7.0	10.0
4	谢飞翔	北京大学物理学系	6	36	2.0	6.0
5	甘子钊	北京大学物理学系	7	25	2.0	5.0
6	聂瑞娟	北京大学物理学系	13	47	4.0	6.0
7	王世光	北京大学物理学系	3	9	2.0	3.0
8	王守证	北京大学物理学系	4	34	2.0	4.0
9	刘乐园	北京大学物理学系	3	29	2.0	3.0
10	胡晓东	北京大学物理学系	5	5	2.0	2.0