形貌检测频域低通滤波器及检测误差修正

• 作者: 徐建强 王蕴珊
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 傅里叶变换形貌法 低通滤波器 三维形貌测量 误差修正
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TN713.7
• 字数: 2277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.1999.01.004

摘要

文章提出了用于傅里叶变换形貌检测法的新频域低通滤波器,并提出了修正在检测大梯度变化物体时常出现跳跃误差的相位逆解调法,给出了实际测量结果,并证明其具有使用简单、参数调整方便、应用范围广等特点,尤其是对具有大梯度表面和棱角细节的物体检测更有独到之处.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王蕴珊		2	13	2.0	2.0
2	徐建强		1	2	1.0	1.0