膜厚对SnO2厚膜型气敏器件灵敏度的影响

• 作者: 傅军
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2厚膜 气体灵敏度 复阻抗分析 丝网印刷
• 年，卷（期）: 1999,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 951-955
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.1999.06.019

摘要

本文通过制备不同膜厚的纳米SnO2厚膜型气敏器件试样,测量试样对乙醇气体的灵敏度和试样的阻温曲线并进行复阻抗分析, 研究了试样的膜厚对灵敏度的影响.SnO2纳米材料由化学沉淀法制备,采用平面丝网印刷技术制作不同膜厚的气敏试样.结果表明,试样膜厚在65μm 左右对乙醇气体具有最大灵敏度.膜厚对灵敏度的影响可能与膜层的晶粒接触状态如接触面积、气孔率、气孔宽度和深度等发生变化有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅军	海南师范学院物理系	44	137	6.0	10.0