团簇演积纳米结构薄膜的计算机模拟

• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 团簇 纳米结构 计算机模拟 薄膜沉积
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 84-88
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

对团簇的沉积方式作了简介.着重对团簇的淀积过程进行了计算机模拟,从中得出了淀积的尺寸分布与团簇在衬底上的徒动长度有关,而团簇的聚合长大存在一临界尺寸.并给出低能PB团簇在碳膜表面的徒动长度和聚事的临界尺寸.