冷等离子体冶金中的粒子输运现象研究

• 作者: 何笑明 尹盛 王宇 王敬义
• 来源期刊: 华中理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 冷等离子体 输运方程 冶金效应
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.13
• 字数: 2918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.1999.03.001

摘要

介绍了冷等离子体冶金效应的实验方法和结果,列出了反应粒子的输运方程,较详细地分析了它们之间的耦合关系.在讨论输运方程的求解过程中,证明各种粒子的输运速率是与提纯效果紧密相关的.提供了对硅的提纯结果和工艺参数,列出了氯原子的输运速率和硅粉温度关系的计算结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敬义	华中理工大学电子科学与技术系	8	43	5.0	6.0
2	王宇	华中理工大学电子科学与技术系	4	26	3.0	4.0
3	尹盛	华中理工大学电子科学与技术系	6	37	5.0	6.0
4	何笑明	华中理工大学电子科学与技术系	4	25	3.0	4.0