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摘要:
介绍了以激光干涉法形成正弦调制起伏图形,结合电镀图形转移工艺获得了图形模板,采用旋转涂覆等工艺将调制图形转移至掺溴聚苯乙烯薄膜的表面,获得了掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶.研究了调制起伏图形的精确转移工艺,以SEM和台阶仪监控图形转移过程,控制耦合在调制图形上的表面粗糙度.
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文献信息
篇名 研究瑞利-泰勒流体力学不稳定性的实验用靶
来源期刊 中国激光 学科 工学
关键词 瑞利-泰勒流体力学不稳定性 平面调制靶 掺溴聚苯乙烯 ICF制靶技术
年,卷(期) 1999,(10) 所属期刊栏目 实验技术与元件
研究方向 页码范围 878-882
页数 分类号 TN2
字数 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0258-7025.1999.10.004
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 周斌 同济大学波耳固体物理研究所化学系 140 1582 22.0 31.0
2 沈军 同济大学波耳固体物理研究所化学系 199 2285 26.0 36.0
3 王珏 同济大学波耳固体物理研究所化学系 79 1255 22.0 32.0
4 陈玲燕 同济大学波耳固体物理研究所化学系 60 522 13.0 19.0
5 张玉龙 同济大学波耳固体物理研究所化学系 4 125 3.0 4.0
传播情况
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2014(2)
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研究主题发展历程
节点文献
瑞利-泰勒流体力学不稳定性
平面调制靶
掺溴聚苯乙烯
ICF制靶技术
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
月刊
0258-7025
31-1339/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
4-201
1974
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
相关基金
中国工程物理研究院基金
英文译名:
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项目类型:
学科类型:
论文1v1指导