硅基光电器件研究进展

• 作者: 郭宝增
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅 光电子器件 硅集成电路
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 19-24
• 页数: 6页
• 分类号: TN36
• 字数: 5237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.1999.01.005

摘要

在信息处理和通信技术中,光电子器件起着越来越重要的作用.然而,因为硅是间接带隙半导体,试图把光电子器件集成在硅微电子集成电路上却遇到很大困难.为解决这一困难,人们发展了多种与硅微电子集成电路兼容的光电子器件制造技术.本文介绍最近几年这方面技术的发展情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭宝增	河北大学电子与信息工程系	61	447	11.0	19.0