气敏器件用SnO2薄膜材料

• 作者: 周水仙 张志勇 曹子祥 王雪文
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶方法 SnO2薄膜 气敏特性
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 16-17
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 2049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.1999.04.007

摘要

采用溶胶-凝胶法以SnCl2.H2O和ZrOCl2.8H2O为原料,制备出性能优良的纳米SnO2薄膜材料.用X射线衍射仪分析了晶相,TEM分析了微观结构.研究了掺杂、处理温度等对其性能的影响.在此基础上制作了SnO2薄膜气敏器件,并检测了其气敏特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志勇	西北大学电子科学系	98	759	13.0	22.0
3	王雪文	西北大学电子科学系	45	408	11.0	18.0
7	曹子祥	西北大学电子科学系	6	22	3.0	4.0
10	周水仙	西北大学电子科学系	1	11	1.0	1.0