化学转化-气相色谱法测定氮化硅中的游离硅

• 作者: 何克伦 董敏 蔡仲滔
• 来源期刊: 分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 化学转化 气相色谱法 氮化硅 游离硅
• 年，卷（期）: 1999,（7）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 817-820
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 2928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3820.1999.07.018

摘要

建立了用化学转化-气相色谱法测定氮化硅中游离硅的分析方法.游离硅和氮化硅与熔融的氢氧化钠反应,排出氢、氨和少量二氧化碳和水蒸汽.吸收除去氨、二氧化碳和水蒸汽后,用热导检测器检测氢.方法简便、准确,平均回收率为96%,相对标准偏差＜5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董敏	中国科学院上海硅酸盐研究所	15	187	5.0	13.0
2	何克伦	中国科学院上海硅酸盐研究所	6	14	3.0	3.0
3	蔡仲滔	中国科学院上海硅酸盐研究所	1	0	0.0	0.0