一种适用于扫描探针显微镜的符合扫描模式

• 作者: 傅星 胡小唐
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 扫描探针显微镜 扫描模式 "符合扫描"
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 科研论文
• 页码范围: 195-197
• 页数: 3页
• 分类号: TH742
• 字数: 1535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.1999.03.014

摘要

扫描模式问题是长期困扰包括扫描隧道显微镜(STM),原子力显微镜(AFM)在内的扫描探针显微镜(SPM)测量精度和速度的关键问题.理论与实验均表明:"符合扫描"消除了原有扫描模式带来的测量误差.这种模式还使测量速度提高了约70%,不仅可以使现在的观察型STM的性能得到提高,而更重要的是对SPM从观察型向计量型的转变在扫描模式方面提供了保障,对原子量级信息读取速度和精度的提高也具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密仪器与光电子工程学院	205	1913	21.0	33.0
2	傅星	天津大学精密仪器与光电子工程学院	107	753	14.0	20.0